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    NX12
    AFM 仕様

仕様

スキャナ

XYスキャナ範囲: 100 μm × 100 μm
AFMヘッド Zスキャナ範囲: 15 μm, 30 μm(オプション)
SICMヘッド Zスキャナ範囲: 15 μm, 30 μm(オプション)

エレクトロニクス

ADC: 18チャンネル
4ハイスピード ADCチャンネル
24ビットADC(X、Y、及びZ ポジション センサー用)

DAC: 12チャンネル、 2ハイスピード DACチャンネル
20ビット DAC(X、Y、Z ポジションセンサー用)
3チャンネル内臓ロックインアンプ

AFM/SPMモード

基本モード: 基本モード: 真のノンコンタクト™ モード、タッピング モード、位相イメージング、コンタクトモード、LFM、 PinPoint™ イメージング、F/D カーブ、フォース ボリュームイメージング、MFM、 エンハンストEFM (基本EFM、DC-EFM、PFM 及びSKPM)、FMM、ナノインデンテーション

NXオプションモード: CP-AFMオプション (基本CP-AFM、ULCA、VECA、SSRM)、高圧電源オプション、 SCM、SThM、STM

ビジョン (AFM)

試料表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野: 840 × 630 μm (10×対物レンズ使用の場合)
CCD: 5 Mピクセル、 1 Mピクセル(オプション)

対物レンズ
10x (0.23NA) 超長WDレンズ (1μm 分解能)
20x (0.35 NA) 高分解能、長WDレンズ (0.6μm 分解能)・・ 25μm Zスキャナヘッド用

ソフトウエア - Park SmartScan™

AFMシステム制御とデータ収集ソフトウエア
自動モード、マニュアル モード
レシピ自動計測用バッチ モード、
連続多点測定AFM操作

倒立型光学顕微鏡

対物レンズ: 最大100x
蛍光顕微鏡* (オプション)
共焦点顕微鏡* (オプション)

グローブボックス(オプション)

• 湿度の精密制御が可能
• 特定ガス環境
• 活性材料の環境隔離

NX12-仕様