経験したことのない
人工知能（AI）搭載型AFM

Park FXは、ボタンをクリックするだけで自動的にプローブを変更、交換することができ、
手動交換により生じるトラブルやチップの汚染を防ぎます。また、QRコードで
プローブ情報を読み取るため、用途に合ったプローブを適切に使うことができます。

デュアルカメラシステムによる
プローブとサンプル位置の
自動ペアリング

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サンプルカメラ
‍
同時に4つの異なるサンプルをサンプルチャックに
配置でき、 サンプルカメラで全体を確認しながら
個々のサンプルをナビゲーションすることができます。

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プローブ認識カメラ

プローブ認識カメラで各ジョブに合ったプローブを
識別します。随時プローブの データベース（タイプ、
対応アプリケーション、用途など）にアクセスして
適切なプローブ 情報をたったのワンクリックで表示
および選択できます。

アップデートする度に賢くなる
機械学習（ML）システム ​

Park FX40は機械学習（ML）システムが搭載されており、
プローブが正しく配置されているかどうかを自動的に
検出します。スマートビジョンは、プローブの位置を
ナノレベルに特定し、必要に応じエラーステータスレポートを
生成します。ソフトウェアがアップデートされる度に
システムはアップグレードされ、数万にわたる
シミュレートされたエラーとエラーレポートを比較し、
問題解決へと導きます。 ​

AFMで経験したことのない正確性とスピードを誇る
真のノンコンタクト™モード

真のノンコンタクト™モードは、サブナノメートルスケールでプローブとサンプルの距離を精密に 制御します。
Park FX40は、市場に出ているどのAFMよりも高速で正確な真のノンコンタクト™モードを実現します。

安全装置

サンプルとチップを最大限に保護するための安全な
プローブのランディング

プローブとサンプルのクラッシュを防止するために、ソフトウェアインターロックと
ハードウェアスイッチを組み合わせたことで、プローブとAFMスキャナを保護します。
アルゴリズムプログラミングにより、Zステージはサンプル表面とプローブが
衝突する範囲まで下がらず、サンプルとAFMの安全性を保ちます。

環境感知センサー

SmartScan™は、温度、湿度、
レベリング、振動など 、測定において
重要な環境条件をセンサーで感知し、
表示およびデータを保存します。
これにより、測定したイメージは
様々な環境チャネルとの比較ができ、
環境指標を導き出すことができます。

安全なプローブのピックアップ

自動と手動どちらでもプローブの取り付けが
できます。もし誤って取り付けたとしても、
搭載されているロボティクスと機械学習（ＭＬ）
アルゴリズムにより 、誤って配置されたプローブが
検出され、システムが警告してユーザーに
知らせます。また、プローブのロード中に様々な
エラーステータスレポートにアクセスして、
最高の精度を確保します。