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生産ライン用全自動AFMで有名なパーク・システムズ社ですが、実は研究用のAFMでも高いパフォーマンスを発揮できることについて、まだ日本国内においては周知とは言えません。そこで今回は、弊社の研究用AFMの能力についてひも解き、説明させていただきます。

 
 
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パーク・システムズ #1
研究用AFMのパフォーマンス 大特集!

2020年8月28日 金曜日

  • 4:00 pm – 4:40 pm
    (JST)
    東京
  • 3:00 pm – 3:40 pm
    (SGT)
    シンガポール
  • 4:00 pm – 4:40 pm
    (KST)
    ソウル
  • 9:00 am – 9:40 am
    (CEST)
    パリ、ローマ

生産ライン用全自動AFMで有名なパーク・システムズ社ですが、実は研究用のAFMでも高いパフォーマンスを発揮できることについて、まだ日本国内においては周知とは言えません。そこで今回は、弊社の研究用AFMの能力についてひも解き、説明させていただきます。

例えば基本の形状測定ですが、Z方向のスケールと分解能は最大30umから原子レベルまであり、測長の精度を考えると、どのような表面凹凸においてもX,Y,Zピエゾスキャナの較正値は、同時に正確でなくてはなりません。

具体的に言うと、角度測定と球体の測定は、3軸同時に、しかもZ軸はX,Y方向のスキャナと分離している必要があります。正確なクローズドループ制御でX,Y軸100um、Z軸標準15um(最大 30um)の動作領域を持つスキャナは、他に類をみません。

今回のウェビナーでは、製品の魅力をお届けしたいと思います。皆様のご参加を心よりお待ちしております。

発表者:後藤 千絵、パーク・システムズ・ジャパン株式会社 技術部 分析チーム

1991年から現在まで29年間をAFMと共にしてきた後藤は、2012年にNEDOの研究員として、千葉大学で燃料電池の研究に携わってきた。日常のデモンストレーション以外にも、これまでに多くのOn Siteセミナー、ユーザートレーニングの実施や日本の顧客向けにオリジナルガイドブックの作成に手をかけている。

 

 

 

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