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パーク・システムズAFMの電気特性アプリケーションの1つであるEFMシリーズには、EFM(静電気力 )、KPFM(表面電位)、PFM(圧電応答)がありますが、今回はPFMについてお話します。 コンデンサー、アクチュエーター、不揮発性メモリなどに使われる圧電材料は、デバイスとして薄膜化 、微細化がますます進んでいます。PFMは、この微小領域の残留分極の分布を可視化することができ、 分光法によって分極の大きさと方向を1度にみることができます。また、探針と接触する表面に垂直な 成分だけでなく、面内の異なる方向に沿った成分を含む複雑なドメインの方向についても1つの垂直チ ャネルと2つの水平チャネルのベクトルを使って、より正確な情報を提供することができます。 EFMは、形状測定の方法によってEFMモードとDynamic Contact EFMモードに大別され、EFMとKPFM がEFMモード、PFMはDynamic Contact EFMモードがベースになっています。

 
 

圧電応答測定(PFM:Piezoelectric Force Microscopy)

 

2021年8月27日 金曜日
4:00 pm – 4:45 pm (JST)
東京 日本
※This Webinar will be presented in Japanese

 

 

パーク・システムズAFMの電気特性アプリケーションの1つであるEFMシリーズには、EFM(静電気力 )、KPFM(表面電位)、PFM(圧電応答)がありますが、今回はPFMについてお話します。

コンデンサー、アクチュエーター、不揮発性メモリなどに使われる圧電材料は、デバイスとして薄膜化 、微細化がますます進んでいます。PFMは、この微小領域の残留分極の分布を可視化することができ、 分光法によって分極の大きさと方向を1度にみることができます。また、探針と接触する表面に垂直な 成分だけでなく、面内の異なる方向に沿った成分を含む複雑なドメインの方向についても1つの垂直チ ャネルと2つの水平チャネルのベクトルを使って、より正確な情報を提供することができます。

Mechanical properties figure4

Ferroelectric phase transition at 120℃

EFMは、形状測定の方法によってEFMモードとDynamic Contact EFMモードに大別され、EFMとKPFM がEFMモード、PFMはDynamic Contact EFMモードがベースになっています。

 

 

 

講演者 : 
後藤 千絵
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
技術部 分析チーム

医学技術を学び、大学病院の皮膚科化学研究室で体細胞性免疫を勉強後、日本に上陸したばかりの走査型プローブ顕微鏡と偶然出会い、 現在に至るまでの30年近くSPMの仕事に携わっている。ナノテクノロジーという言葉がまだなかった時代から、基礎研究から製品レベルに近い研究を目の当たりにして、 日本の化学技術の推移を垣間見たことが大きなモチベーションとなっている。

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