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クロストークの除去

ボウイングがないフラットで直交したXYスキャナ

Parkのクロストーク除去構造はスキャナのボウイングを取り除き、スキャン位置、スキャンレート、あるいはスキャンサイズにとらわれずにフラットで直交したXYスキャンを可能にします。最も平らなサンプル(光学フラット)や様々なスキャンオフセットがあった場合でも、バックグラウンドの湾曲は出力されません。あらゆる難題に直面する研究やエンジニアリングにおいて、正確な高さ測定と精密なナノメトロロジーを提供します。

分離されたXYスキャナとZスキャナ

Parkと競合他社との根本的な違いは、スキャナの構造です。Park独自の独立したフレクチャー式XYスキャナ、およびZスキャナの設計により、業界において類ないナノ分解能での正確なデータの出力が可能になりました。

XY-ZScanner AFM
正確な表面測定

「フラット」なサンプル表面

  • 低残留ボウ
  • ソフトウェア処理の必要なし
  • スキャンロケーションに影響されない正確な結果
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直交XYスキャンのためのデュアルサーボシステム

XYフレクチャー式スキャナは、XとYのスキャン動作を分離するため、XとYの結合は、どのスキャン位置、速度、サイズでも最小化されます。デュアル位置センサーは、線形および直交フィードバック制御を提供し、大小を問わずにあらゆるスキャンサイズとサンプルにおいて最高の精度を実現します。

dual-servo-afm-system
2D-100nmHighly Linear and Orthogonal XY Scan

業界をリードするZスキャンの直線性

Parkのクロストーク除去技術により、フレクチャーガイド式Zスキャナは、XおよびYスキャンの動作から分離されます。これにより、Zスキャンの動きを正確な直線に保つことができます。フレクチャーガイド式スキャナであるZスキャンの直線性は0.015%未満であり、ナノスケールで正確かつ精密な角度測定を可能にします。

Z-scanner-Linearity

ParkのAFMは、クロストーク除去テクノロジーにより、最も正確な名のイメージングデータを提供します。幅広い種類のサンプルとサイズで表面の曲率を排除し、正確で精密な角度測定により、フラットで高度な線形の直交XYスキャンを提供します。

 

Crosstalk Elimination