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真のノンコンタクト™モード

真のノンコンタクト™モードによるチップ先端鋭さの維持

AFMのチップは非常に壊れやすく、脆いため、サンプルに触れると同時に生成されるイメージの解像度と品質に即座に影響を及ぼします。軟らかく繊細なサンプルの場合、先端がサンプルに当たると、サンプルが損傷するため、サンプルの高さ測定が不正確になり、測定にかかる貴重な時間と費用が無駄になってしまう可能性もあります。真のノンコンタクト™モードは、ParkのAFMに搭載されている独自のスキャンモードであり、サンプルの完全性を維持しながら、高解像で正確なデータを一貫して生成します。

Preserves-Sharp-Tip

1:1のアスペクト比で示されている上記のサンプルイメージは、ParkのAFMで撮影した浅いトレンチ分離の未処理生データイメージです。深さは3.7㎛で、走査型電子顕微鏡(SEM)によって確認されています。右側の二つのイメージは、サンプルのイメージングを行う前と、20回行った後での先端の様子ですが、20回のイメージングを行った後でもチップ先端の摩耗はみられませんでした。

 

高速Zサーボによる正確なフィードバックにより、真のノンコンタクトAFMを実現

チップ摩耗やサンプル損傷の低減、高解像度イメージングの維持、高精度AFM測定と、ノンコンタクトモードを装備する原子間力顕微鏡の利点と優位性は十分に確立されています。ただし、フレクチャー式高力Zスキャナで真のノンコンタクト™モードを実現したのは、Parkのみです。真のノンコンタクト™モードでは、原子間力の正味の引力領域において、チップとサンプルの距離が数ナノメートルに維持されます。チップの振動の振幅が小さいため、チップとサンプルの相互作用が最小限に抑えられ、優れたチップ先端の維持とサンプル交換の面倒を省くことができます。

真のノンコンタクト™モード

non-contact
  • 少ないチップ先端の摩耗 = 長時間の高解像度スキャンが可能
  • サンプルを非破壊観察 = 再現性の高い繰り返し観察を実現
  • 測定時のパラメータ依存から解放
non-contact-mode

タッピングモード

tapping-imaging
  • 早いチップ先端の摩耗 = ぼやけた低解像度スキャン
  • サンプルの損傷 = 繰り返し計測不可
  • 高い測定パラメータ依存性
tapping-imaging
 

業界をリードするZサーボスピード

ParkのAFMは、業界で最も速いZサーボを備えています。高速スキャン中であっても、前方と後方のスキャンギャップはスキャン範囲の0.15%未満で保たれます。

Fast-Z-Servo-Speed
 

WCフィルムサンプルの硬くて摩耗性の高い繊細な特徴は、Park AFMの高速Zサーボスピードの利点を際立たせています。真のノンコンタクト™モードでのスキャンにより、チップ先端の鋭さは維持され、トレースとリトレースはより高速なスキャンレートでも完全に一致することがわかります。

 
true non-contact-mode

ParkのAFMは、業界をリードする高速Zサーボスピードを採用

最小のZスキャン質量と高速DSPサーボ制御によるパーク高速Zサーボモーターは、プローブを引力の範囲から出ないようにし、周囲の空気でコンタクトモードAFMを実現できます。

  • 9kHz以上のZ走査帯域幅または、62mm/秒以上の先端速度のZサーボ速度
  • 最適化されたZサーボスピードと最小限のZスキャン質量(PSPDとチップ)
  • 時間遅れのない高速なDSPサーボ制御
 

True Non-Contact Mode