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メディアとサブストレートの自動欠陥レビュー

ハイスループット、自動欠陥レビュー

NX-HDMの自動欠陥レビュー(Park ADR)は、サブストレートとメディアの欠陥を識別、スキャン、解析する方法を高速化し、改善します。Park ADRは、光学検査ツールから得られる欠陥位置マップを使って自動的に各位置に移動し、二つのステップで欠陥を画像化します。
(1) 欠陥場所を絞り込むために、より大規模な調査走査を画像化
(2) それから、欠陥の詳細を得るために、より小さなズームイン走査を画像化。本当の欠陥がある場合のテストは、従来の方法に比べて自動化されたプロセスにおける欠陥レビューのスループットが、10倍増加を示します。

自動サーチスキャン & ズームインスキャン

最適化されたスキャンパラメータにより、高速な二つのステップスキャンが可能です。
(1) 欠陥を見つけるための迅速で低解像度のサーチスキャン
(2) 欠陥の詳細を取得するための高解像度ズームインスキャン。スキャンサイズとスキャン速度のパラメータは、ユーザーのニーズに合わせて調整できます。defect-review2

  関連アプリケーション

AFMへの欠陥マップの自動転送と位置合わせ

独自の高度なマッピングアルゴリズムを利用して、自動光学検査(AOI)ツールから取得した欠陥マップは正確に転送され、Park NX-HDMにマッピングされます。このテクノロジーにより、ハイスループットの欠陥イメージングを完全に自動化できます。

光学検査ツールからの欠陥座標のマップdefect-maps
 

正確なサブオングストロームの表面粗さ測定

サブオングストローム、表面粗さ測定

ますます縮小するデバイスの寸法に対応するために、業界では超フラットなメディアとサブストレートの需要が高まってきています。Park NX-HDMは、何度スキャンを行っても、スキャンごとに正確なサブオングストロームの表面粗さ測定を可能にします。業界最小のノイズフロアと独自の真のノンコンタクト™技術を持つPark NX-HDMは、とともに、市場で最も正確な表面粗さ測定用のAFMです。

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真のノンコンタクト™モードによる正確なAFMスキャン

真のノンコンタクト™モード

non-contact
  • 少ないチップ先端の摩耗 = 長時間の高解像度スキャンが可能
  • サンプルを非破壊観察 = 再現性の高い繰り返し観察を実現
  • 測定時のパラメータ依存から解放
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タッピングモード

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  • 早いチップ先端の摩耗 = ぼやけた低解像度スキャン
  • サンプルの損傷 = 繰り返し計測不可
  • 高い測定パラメータ依存性
tapping-imaging
 

低ノイズZ検出器による正確なAFM測定

ピエゾクリープエラーのない真のサンプルトポグラフィー™

  • トポグラフィーに低ノイズZ検出信号使用
  • 大帯域幅で0.02nmの低いZ検出器ノイズ
  • 上昇端および下降端でのオーバーシュートなし
  • キャリブレーションは工場にて出荷時に一度のみ

Park NX AFM

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従来のAFM

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Park NX-HDMの特徴

完全に自動化されたパターン認識
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高解像度デジタルCCDカメラとパターン認識ソフトウェアのパワフルな組み合わせにより、完全自動化されたパターン認識と位置合わせが可能です。

自動測定制御

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Park NX-HDMには自動化ソフトウェアが搭載されており、操作は非常に簡単です。必要な測定プログラムを選択するだけで、カンチレバー調整、スキャン速度、ゲイン、パラメータ設定と、各設定の最適化により、正確なマルチ分析を行うことができます。

Parkの使いやすいソフトウェアインターフェイスにより、カスタマイズされた操作ルーチンを柔軟に作成できるため、Park NX-HDMのすべての機能にアクセスして、必要な測定を行うことができます。

新しいルーチンの作成は簡単です。ゼロから作成するのに10分、既存のものを変更するのに5分もかかりません。

Park NX-HDMは以下のこれらを実現します。
• 自動、半自動、マニュアルモードにより、完全な制御が可能
• 各自動ルーチンにおくる測定方法の編集
• 測定プロセスのリアルタイムモニタリング
• 取得した測定データの自動解析

100 ㎛ x 100 ㎛ の範囲でスキャンできる2Dフレクシャーガイドスキャナ

2D-Flexure-Guided-Scanner
XYスキャナは対称的な2次元フレクチャー式ピエゾスタックで構成されており、強力な圧電スタックにより面外運動を最小限に抑えながら高い直交移動を叶えます。また、ナノスケールでの正確なサンプルスキャンに不可欠な高い応答性も備えます。

デュアルサーボシステム搭載型クローズドループXYスキャン

dual-servo-afm-system
XYスキャナの各軸に二つの対称的な低ノイズ位置センサーが組み込まれており、最大スキャン範囲とサンプルサイズに対して、高いスキャン直交性を維持します。セカンダリセンサーは、単一のセンサーによって生じる非線形および非平面の位置誤差を補正します。

15 ㎛の範囲でスキャン可能な高速Zスキャナ

9 9 11強力な圧電スタックによって駆動され、フレクチャー構造に基づいてガイドされるスタンダードタイプのZスキャナは、9 kHz(通常10.5 kHz)を超える高い共振周波数と、48 mm/秒を超えるZサーボ速度を備え、正確なフィードバックを可能にします。また、オプションのロングスキャンレンジZスキャナを用いることで、最大Zスキャン範囲を15 ㎛から30 ㎛まで拡張できます。

低ノイズXYZ位置センサー

position-sensors業界をリードする低ノイズZ検出器は、印加されたZ電圧をトポグラフィー信号として置き換えます。さらに、低ノイズXYクローズドループスキャンは、前方および後方のスキャンギャップの範囲を0.15%未満に最小化させます。

業界で最も低いノイズフロア
2 Low-Noise-Floor

最小のサンプルフィーチャを検出し、最もフラットな表面をイメージ化するために、Parkは業界で最も低い0.5Å未満のノイズフロア仕様を設計しました。ノイズフロアデータは、“ゼロスキャン”を使うことで決定されます。システムノイズはカンチレバーが表面の一か所に接触した状態で、次の条件下で測定されます:

• 1点固定(走査範囲設定:0 nm x 0 nm)
• コンタクトモード、ゲイン0.5
• 256 x 256 ピクセル

HDM-Series-アプリケーション