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  • Park
    NX-HDM
    AFM 仕様

Park NX-HDM 仕様

システム
仕様

電動XYステージ

駆動範囲: 最大150 mm × 150 mm、再現性 2 μm


電動 Zステージ

Z 駆動範囲 25 mm
分解能 0.1 μm 、再現性 < 1 μm

 

スキャナ
性能

XY スキャナ レンジ

100 µm × 100 µm

XY スキャナ分解能

0.095 nm (20ビット位置制御)

 

AFM とXYステージ
制御エレクトロニクス

ADC

18 チャンネル
4 高速 ADCチャンネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー)

DAC

17 チャンネル
2 高速 DAC チャンネル (64 MSPS)
20ビット DAC ( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサ)

 

振動、音響ノイズ、
及びESD性能

床振動ノイ

< 0.5 μm/s (10 Hz ~ 200 Hz w/ アクティブ防振台システム)

 

設備
条件

室温 (待機温度)

10 °C ~ 40 °C


室温 (稼働中)

18 °C ~ 24 °C

湿度

30% to 60% (not condensing)

 

寸法 (mm)
重量 (kg)

アクースティック エンクロージャー

880 (w) × 980 (d) × 1460 (h)
620 kg approx. (incl. basic NX-HDM System)

制御キャビネット

600 (w) × 900 (d) × 1600 (h)
170 kg approx. (incl. controllers)

 

電動フォーカス ステージ

直上光学、Z 駆動範囲15mm

試料の厚さ許容範囲

最大 20 mm

全Zスキャンレンジ

Z クリアランス< 2 nm

COGNEX パターン認識

パターン アライメント分解能: 1/4 ピクセル

Z スキャナレンジ

15 µm

Z スキャナ分解能

0.01 nm

最大スキャンサイズ

4096 x 4096 ピクセル

音響ノイズ

>20 dB 低減(アクースティックエンクロージャーにより)

床振動レベル

VC-E 基準 (3 μm/sec)

音響ノイズ

65 dB以下

排気系

真空 : -60 kPa

電源

100/120 V/ 208~240 V、単相, 15 A (最大)

総合消費電力

2 KW (公称値)

グラウド抵抗値

100 オーム以下

 

システム フロア スペース

1720 (幅) × 920 (奥行)

天上高

2000 以上

オペレータ作業スペース

2400 (幅) × 2450 (奥行), 最小 (寸法単位: mm)

demensions[ Park NX-HDM system dimension ] / [ Park NX-HDM installation layout ]
 

HDM-Series-仕様