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ハードディスクヘッドスライダーの正確なインラインメトロロジーのための完全に自動化されたAFMにより、優れた作業をよりシンプルに

ParkのPTRシリーズは、ロウバーレベル、個別のスライダーレベル、およびHGAレベルのスライダーでの自動ポールチップレセッション測定用の完全自動産業インラインAFMソリューションです。サブナノスケールの精度、再現性、およびスループットを備えたPTRシリーズは、スライダーメーカーが全体的な生産収率を向上させるために最適な計測ツールです。

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高速で正確な再現性のあるPTR測定を実現するインラインオートメーション

ハードディスクドライブスライダーの製造業界では、利用可能な最高水準の精度を維持しながら、流線型ポールチップレセッションを高速で測定するツールが求められています。そこで最適なツールが、Park NX-PTRです。NX-PTRは、スループットを向上させるインラインの自動化により、プロセスエンジニアに非常に正確なPTR測定を可能にします。品質と生産収率を最大化することを目指すHDDスライダーメーカーにとって最適なソリューションです。

複数回のレファレンススキャンを必要としないハイスループットの実現

従来のほとんどのAFMは、正確なPTR測定のために複数回のスキャンを行う必要があります―最初にマクロスケールレファレンススキャン、次に小さい関心領域に高分解能スキャン。このマルチスキャンプロセスには時間がかかり、スループットが制限されます。弊社のクロストーク除去スキャンシステムは、非常にフラットなスキャンを可能にし、マルチスキャンプロセスを効果的に排除します。さらに、真のノンコンタクト™モードを使うことで、長時間にわたる高解像度イメージングの継続と同時に、従来のAFMに比べてはるかに長いチップの寿命を実現します。これにより、Park NX-PTRは、様々なスキャナアーチファクトを補正するためのレファレンススキャンを必要とせず、大きなマクロ形状内の詳細な関心領域における正確なイメージを出力できます。

Park PTR-概要