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両立した生産性と正確さ

自動チップ交換 (ATX)

ATX(Automatic Tip Exchanger)は、パターン認識によってチップを自動的に特定し、磁気アプローチを使用して使用済みのチップを取り外し、新しいチップをピックアップします。成功率は99.9%と非常に高いです。レーザースポットは、電動位置決めノブによってX軸とY軸に沿って自動的に最適化されます。

Automatic-Tip-Exchange

より安定したスキャン環境のためのイオナイザー

弊社の革新的なイオナイザーは、サンプル環境内の静電荷を迅速かつ効果的に除去します。システムは常に正イオンと負イオンの理想的なバランスを生成および維持するため、周囲の汚染がほとんどなく、サンプルを取り扱う際に、偶発的な静電気のリスクが最小限に抑えることで、非常に安定した帯電環境を築くことができます。

NX-HDM Ionization-System

自動ウェハーハンドラー(EFEMまたはFOUP)

NX-Waferは、様々な自動ウェハーハンドラー(EFEMまたはFOUPなど)用に構成できます。高精度で非破壊的なウェハーハンドラーロボットアームにより、ユーザーは常に高速で信頼性の高いウェハー測定を確実に行うことができます。

 

Automatic-Wafer-Handler
 

Park Wafer-オプション