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超大型で重いフラットパネルディスプレイに対応するインライン不良解析原子間力顕微鏡(AFM)システム

大型フラットパネルディスプレイに対する微小不良解析の需要が高まるにつれ、Park NX-Tipスキャンヘッドは、300mmを超えるサンプルのナノ計測の課題を解決します。チップスキャニングヘッドとガントリー型エアベアリングステージにより、Park NX-TSHは粗さの測定、ステップ高測定、CD測定を正確に画像化することができます。
パーク・システムズ社の原子間力顕微鏡は、ナノスケールでサンプルを測定する最も正確でサンプル、チップ先端、両方にダメージレスな方法です。Park NX-TSHを用いることで、OLED、LCD、フォトマスクなどで信頼性の高い高解像度のAFM像を得ることができます。

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Park NX-Wafer

Park NX-TSH

 

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Park NX-TSH-概要