|お問い合わせ|
  • Park
    NX-TSH
    AFM 仕様
 

Park NX-TSH 仕様

*この仕様はカスタマイズできます。詳しくはお問い合わせください。



システム
仕様

サンプルサイズ*

520 nm x 520 nm x 12 nm, 10 kg

電動Xステージ*

625 mmまで移動、分解能±3 ㎛

電動Yステージ*

525 mmまで移動、分解能±3 ㎛

電動Zステージ*

Z移動距離25 mm、分解能0.08 ㎛、再現性 < 1 ㎛

電動フォーカスステージ*

Z移動距離9 mm、直上光学系

COGNEXパターン認識

パターンアライン分解能1/4ピクセル

 

スキャナー
性能

XYレンジ

100 ㎛ x 100 ㎛


XY分解能

0.15 nm

Zレンジ

15 ㎛

Z分解能

0.016 nm

 

AFMおよび
XYステージ制御
エレクトロニクス

ADC

18チャンネル
高速ADC 4チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置センサー用24ビットADC

 

DAC

12チャンネル
高速DAC 2チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置決め用20ビットDAC

 

コンプライアンス

CE

SEMI Standard S2/S8

 

設備条件

室温(待機時)

10 °C ~ 40 °C 


室温(稼働時)

18 °C ~ 24 °C


湿度

30% ~ 60%(結露がないこと)


床振動レベル

VC-E基準(3μm/sec)


音響ノイズ

65dB 以下

排気系

真空:-80kPa
CDA (または N2): 0.7 MPa


電源

208V - 240 V, 単相、17A(最大)


総合消費電力

問い合わせ


グラウンド抵抗

100オーム以下

 

 

Park NX-TSH-仕様