Park NX-TSH 仕様
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システム
仕様
サンプルサイズ*
520 nm x 520 nm x 12 nm, 10 kg
電動Xステージ*
625 mmまで移動、分解能±3 ㎛
電動Yステージ*
525 mmまで移動、分解能±3 ㎛
電動Zステージ*
Z移動距離25 mm、分解能0.08 ㎛、再現性 < 1 ㎛
電動フォーカスステージ*
Z移動距離9 mm、直上光学系
COGNEXパターン認識
パターンアライン分解能1/4ピクセル
スキャナー
性能
XYレンジ
100 ㎛ x 100 ㎛
XY分解能
0.15 nm
Zレンジ
15 ㎛
Z分解能
0.016 nm
AFMおよび
XYステージ制御
エレクトロニクス
ADC
18チャンネル
高速ADC 4チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置センサー用24ビットADC
DAC
12チャンネル
高速DAC 2チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置決め用20ビットDAC
コンプライアンス
CE
SEMI Standard S2/S8
設備条件
室温（待機時）
10 °C ~ 40 °C
室温（稼働時）
18 °C ~ 24 °C
湿度
30% ~ 60%（結露がないこと）
床振動レベル
VC-E基準（3μm/sec）
音響ノイズ
65dB 以下
排気系
真空：-80kPa
CDA (または N2): 0.7 MPa
電源
208V - 240 V, 単相、17A（最大）
総合消費電力
問い合わせ
グラウンド抵抗
100オーム以下
