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    NX-3DM
    アプリケーション
 

革新的な3Dメトロロジーソリューション

アンダーカットやオーバーハング形状のCD計測

NX-3DMにより、フォトレジストやその他の産業用材料のアンダーカットおよびオーバーハング構造に独自の方法でアクセスできるため、サンプル全体の正確なトポグラフィーデータを確実に取得することができます。

関連アプリケーションの詳細
undercut-and-overhang-profiling三つの異なる傾斜角度で撮影したイメージをつなぎ合わせて自動的に結合し、完全な3Dイメージを形成

限界寸法

真のノンコンタクト™モードでは、イメージの解像度を犠牲にすることなく、装置とサンプルを傷つけずにCD測定を行うことができます。

 

critical-dimension-measurement-1フォトレジストの密集した線のパターンは3D AFMでイメージングされ、プロファイルはSEMイメージと非常によく一致しています。
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側壁粗さ測定

NX-3DMの革新的なヘッド傾斜設計により、先端が非常に鋭いチップを側壁に近づけ、側壁の粗さの高解像度イメージと詳細情報を測定することができます。

関連アプリケーションの詳細
sidewall-roughness-measurement3D AFMイメージにより、フォトレジストラインの下部、側壁、上部に高解像度プロファイルを取得でき、構造におけるLER/側壁粗さ分析も可能です。
 
 
 

Park 3DMの特徴

革新的なZスキャンシステム

NX-3DMの多くの独自の機能は、XYスキャナとZスキャナが完全に分離されている特許取得済みのクロストーク除去プラットフォームで、Zスキャナを独立して傾けることで機能を果たす仕組みとなっています。この設計により、ユーザーは様々な角度で垂直側壁やアンダーカット構造にアクセスできます。フレアチップのシステムとは異なり、ここでは高分解能、および高アスペクト比のプローブを使うことができます。

 

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フレクチャーガイド式クローズドループデュアルサーボシステム搭載型XYスキャナ

100 ㎛ x 100 ㎛ XYスキャナは、対称的な2次元フレクチャー式ピエゾスタックで構成されており、面外運動を最小限に抑えながら高度に直交する動きを実現し、ナノメートルスケールでの正確なサンプルスキャンに不可欠な高い応答性も実現します。XYスキャナの各軸に2つの対称的な低ノイズ位置センサーが組み込まれ、最大のスキャン範囲とサンプルサイズで高レベルのスキャン直交性を維持します。セカンダリセンサーは、単一のセンサーのみが原因で発生する非線形および非平面の位置誤差を訂正します。


自動測定制御による労力削減と正確なスキャン

Park NX-3DMには自動化ソフトウェアが搭載されており、操作は非常に簡単です。必要な測定プログラムを選択するだけで、カンチレバー調整、スキャン速度、ゲイン、パラメータ設定と、各設定の最適化により、正確なマルチ分析を行うことができます。

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業界をリードする低ノイズZ検出器

弊社の原子間力顕微鏡(AFM)は、市場でも最も効果的な低ノイズのZ検出器が装備されており、大きな帯域幅で0.02 nmのノイズを実現しています。これにより、非常に正確なサンプルトポグラフィーを得ることができ、エッジのオーバーシュートもありません。Park NX-3DMにより、時間を節約できると同時に、より質の高いデータの取得が可能です。

 

低ノイズZ検出器による正確なサンプルトポグラフィー測定

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低ノイズクローズドループAFMスキャナでさらにアーチファクトの排除

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• トポグラフィーに低ノイズZ検出信号使用
• 大帯域幅で0.02nmの低いZ検出器ノイズ
• 上昇端および下降端でのオーバーシュートなし
• Needs calibration done only once at the factory
• キャリブレーションは出荷時に工場で一度のみ

 


業界で最も低いノイズフロア

最小のサンプルフィーチャを検出し、最もフラットな表面をイメージ化するために、Parkは業界で最も低い0.5Å未満のノイズフロア仕様を設計しました。ノイズフロアデータは、“ゼロスキャン”を使うことで決定されます。システムノイズはカンチレバーが表面の一か所に接触した状態で、次の条件下で測定されます:

• 一か所に留まって、0 nm x 0 nmスキャン
• コンタクトモードで0.5ゲイン
• 256 x 256ピクセル

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ゲージの繰り返し精度と再現精度

コンポーネントのサイズがますます小さくなるにつれ、メーカーでは最高レベルの品質管理が必要となってきています。そこで、ParkのAFMは、1オングストローム未満の1ゲージシグマを実現します。


ツール間の相関係数

産業用に設計されたParkの革新的なAFMプラットフォームのおかげで、Park NX-3DMは、以前に製造、検査、分析、または研究に使われてきた既存のPark AFMと相互関係にあります。

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NX-3DM-アプリケーション