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  • Park
    NX20
    AFM モード
 

QuickStep™ SCM モード

  • 従来のSCMスキャンより10倍も速いスキャン速度
  • 妥協のないシグナル感度、空間分解能、そしてデータの精度

ハイスループットQuickStep™スキャン

QuickStep™キャンにより、SCM測定のスループットは、信号感度、空間分解能、またはデータ精度を犠牲にすることなく、標準のSCMスキャン速度の10倍と大幅に増加しました。QuickStep™キャンでは、XYスキャナが各ピクセルポイントで停止してデータを記録し、ピクセルポイント間をすばやくジャンプします。

QuickStep™スキャン

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連続的な移動ではなく、XYスキャナーが各データの収集ポイントで停止

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スキャン速度 1.5 Hz

従来のスキャン

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conventianal-scan-rate

スキャン速度 1 Hz

スキャンサイズ: 10 ㎛ × 3 ㎛, AC バイアス: 0.5 Vp-v, DC バイアス: 0 V


Park SCMによる正確なドーパントプロファイリング

半導体製造において、ドーパントプロファイルを特徴づける能力は、故障の原因を特定するだけでなく、設計をアップグレードさせる上でも重要です。デバイスの特性評価のために、走査型静電気容量顕微鏡(SCM)は、定量的な2Dドーパントプロファイルを測定する独自の機能を備えています。

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PinPoint™コンダクティブAFMモード

PinPoint™コンダクティブAFMは、チップとサンプル間の明確な電気的接触のために開発されました。ユーザーが制御する接触時間で電流を取得している間にXYスキャナが停止し、PinPoint™コンダクティブAFMは、異なるサンプル表面での最適化された電流測定により、横力なしでより高い空間分解能を可能にします。

 

PinPoint™モード

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Contact

Tapping

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サンプル: ZnO ナノロッド, -3 V サンプルバイアス

コンダクティブAFMから得たZnOナノロッドのイメージを比較すると、従来のコンタクトモードのコンダクティブAFMの方がタッピングモードのコンダクティブAFMよりも高い電流測定値を持っていますが、コンタクトモードトポグラフィーでチップが摩耗すると、その分解能も低下しているのがわかります。新しいピンポイント™コンダクティブAFMは、より高い空間分解能と最適化された電流測定の両方の優れた点を備えています。


広い帯域幅を持つ低ノイズコンダクティブAFM

コンダクティブAFMは、様々なデバイス研究、特に業界での故障解析において重要なツールです。ParkコンダクティブAFMは、業界で最も競争力のある仕様を持っており、最も低い電流ノイズレベルと最大の増幅範囲の両方を備えています。

  • 業界で最も低い電流ノイズレベル(0.1 pA)
  • 業界で最大の電流(10 μA)
  • 最大増幅選択は、7桁(103~109)をカバー
 

Park NX20 拡張型SPMモード(⋆オプション)

スタンダードイメージング

NX20-AFMモード