|お問い合わせ|
  • Park
    NX20
    AFM 仕様

Park NX20 仕様

XY スキャナ

AFMヘッド
フレクチャーガイド式高力スキャナ
スキャン範囲: 15 ㎛(オプションにて30 ㎛)
SICMヘッド
多重積層圧電スタックによって駆動されるフレクチャーガイド式構造
スキャン範囲: 15 ㎛(オプションにて30 ㎛)

 

XY スキャナ

正確なXY位置決めのためのデュアルサーボクローズドループフィードバック制御
スキャン範囲 : 100 ㎛ x 100 ㎛(オプションにて50 ㎛ x 50 ㎛ )

 

ステージ

XYステージ移動距離 : 150 mm (200 mm オプション)
Zステージ移動距離 : 25 mm
フォーカスステージ移動距離 : 8 mm
全軸高分解能エンコーダ (オプション)

 

試料マウント

試料サイズ : 小サンプル一つ当たり(10mm x 10 mm、厚さ20 mm)、もしくは150 mmウェーハ(オプションにて200 mm)
ウェーハ試料固定用真空チャック
小サンプル16個まで(10 mm x 10 mm、厚さ20 mm)(オプションにてマルチサンプルチャック)

 

光学系

試料表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ

視野 : 840 ㎛ × 630 ㎛(10x対物レンズ使用の場合)
CCD : 5 Mピクセル
対物レンズ
10x 超ロングワーキングディスタンスレンズ
20x 高分解能、ロングワーキングディスタンスレンズ

 

エレクトロニクス

信号処理

ADC : 18チャンネル
24ビット ADC( X, Y, 及び Z スキャナポシションセンサー用)
DAC : 17チャンネル
20ビット DAC( X, Y,及び and Z スキャナ位置制御用)

内蔵機能

デジタルロックインアンプ4チャンネル
バネ定数キャリブレーション (サーマル方式)
デジタルQコントロール

 

オプション/モード

トポグラフィーイメージング

ノンコンタクトモード
コンタクトモード
タッピングモード

電気特性

コンダクティブAFM(C-AFM)
I/V スペクトロスコピー
ケルビンプローブ顕微鏡(KPFM)
高電圧KPFM
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)
走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡(STM)
フォトカレントマッピング(PCM)
カレントディスタンス(I/d)スペクトロスコピー(SICM付き)
静電気力顕微鏡(EFM)

化学特性

化学力顕微鏡(機能化チップ付き)
EC-AFM

熱特性

走査型サーマル顕微鏡(SThM)

誘導特性/圧電特性

圧電応答力顕微鏡(PFM)
高電圧PFM
圧電応答スペクトロスコピー

機械特性

PinPoint™ナノメカニカルモード
フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)
ナノインデンテーション
ナノリソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニピュレーション
摩擦力顕微鏡(LFM)
フォースディスタンス(F/d)スペクトロスコピー
フォースボリュームイメージング

磁気特性

磁気力顕微鏡(MFM)

 

ソフトウエア

SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
すばやいセットアップと簡単なイメージングのための自動モード
よりエキスパートな用途と詳細なスキャン制御のためのマニュアルモード

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア
スタンドアローン式―AFMから離れたところでもインストール、および分析が可能
取得したデータの3Dレンダリング出力可能

 

アクセサリ

温度制御機能付きユニバーサル液体セル
温度制御機能付きステージ
電気化学セル
グローブボックス

磁界発生器
マルチ試料チャック
可傾式試料チャック
スナップイン試料チャック

 

寸法 (mm)

demensions
 

NX20-仕様