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    NX20
    AFM 技術情報
 

故障解析およびリサーチラボ向けの正確なAFMソリューション

3D構造における側面傾斜角度の正確な測定

3D-wall

Park NX20の革新的な構造により、試料の側壁と表面を検出することで、その角度を測定できます。これにより、ユニットには、より革新的な研究を行い、より深い洞察を得るために必要な多様性が与えられます。


メディアや基板の表面粗さ計測

表面粗さ計測は、Park NX20が正確な故障解析と優れた品質保証を提供する重要なアプリケーションの一つです。
  関連アプリケーション紹介
surface-roughness

高分解能電気計測モード

tech-quickstep

QuickStep™ SCM
最速のスキャンキャパシタンス顕微鏡

PinPoint™ AFM
摩擦のないコンダクティブAFM

  関連AFMモード紹介
 

正確で劣化のない計測能力によりさらなる高い生産性を実現

研磨されたシリコンウェーハでのチップの寿命性能データ:1つのチップを使用して15,000回スキャン@10Hz


最高のAFM測定を再現

CrN(いわゆる先端チェックサンプル)は、鋭い先端をすぐに摩耗させるほど非常に粗い表面を持っていますが、真のノンコンタクト™モードを使うことで、CrNを200回イメージングしても、先端は摩耗せず、先端の鋭さを維持します。

ETD-Non-Contact
 

低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー

ピエゾクリープエラーの発生しない真のサンプルトポグラフィー™

弊社のAFMは、業界で最も効果的な低ノイズZ検出器が装備されており、広い帯域幅で0.02 nmのノイズが発生します。これにより、非常に正確なサンプルトポグラフィーを取得することができ、エッジオーバーシュートもなく、キャリブレーションの必要もありません。Park AFMを使うことで、時間を節約することができ、より優れたデータを得ることができます。

  • トポグラフィーに低ノイズZ検出信号使用
  • 大帯域幅で0.02 nmの低いZ検出器ノイズ
  • 前縁および後縁のエッジオーバーシュートなし
  • 工場でのキャリブレーションは1度のみ

Park NX AFM

no-creep-effect

従来のAFM

creep-effect
 
 

Park NX20の特長

100 ㎛ x 100 ㎛の範囲でスキャンできる2Dフレクチャーガイドスキャナ

2D-Flexure-Guided-ScannerXYスキャナは対称的な2次元フレクチャー式ピエゾスタックで構成されており、強力な圧電スタックにより面外運動を最小限に抑えながら高い直交移動を叶えます。また、ナノスケールでの正確なサンプルスキャンに不可欠な高い応答性も備えます。

低ノイズXYZ位置センサー
position-sensors

業界をリードする低ノイズZ検出器は、印加されたZ電圧をトポグラフィー信号として置き換えます。さらに、低ノイズXYクローズドループスキャンは、前方および後方のスキャンギャップの範囲を0.15%未満に最小化させます。

自動StepScan

電動サンプルステージを使うことで、Step-and-Scanは、ユーザーが任意の複数領域の連続イメージングを可能にします。Step-and-Scanの手順は以下を含みます:

Step-and-Scan

1) イメージをスキャンする
2) カンチレバーを持ち上げる
3) 電動ステージをユーザーの設定した定義に従って動かす
4) アプローチ
5) スキャンを繰り返す

この自動化された機能は、繰り返しのイメージング作業にかかる手間を省き、生産性向上に大きくつながります。

スライド装着式SLDヘッドの自動エンゲージ
SLD-head

AFMヘッドは、ダブテールレールに沿ってスライドさせることで、容易に取り付けや取り外しができます。これにより、ヘッドは事前調整された位置に自動的にロックされ、数ミクロンの位置決め再現性を持つ制御エレクトロニクスに接続されます。スーパールミネセンスダイオード(SLD)の低コヒーレンシ―により、高反射表面の正確なイメージングとピコニュートン力距離分光法の正確な測定が可能です。SLD波長は、AFMを可視スペクトルでの実験と組み合わせることに関心があるユーザーの干渉問題を解決します。

拡張型SPMモードやオプションのための拡張スロット
expansion-slot

オプションモジュールを拡張スロットに繋げることで、拡張型SPMモードは有効になります。NXシリーズAFMのモジュラー設計により、全体の製品ラインにおいてオプションの互換性が確保されます。

高速24ビットデジタルエレクトロニクス
digital-electronics

すべてのNXシリーズのAFMは、同じNXエレクトロニクスコントローラーによって制御および処理されます。コントローラーは、すべてデジタルで、24ビット高速エレクトロニクスユニットから成り立っており、パーク・システムズの真のノンコンタクト™モードによって、高い精度と速度を保証します。低ノイズ設計と高速処理ユニットを備えたコントローラーは、ナノスケールでのイメージングと正確な電圧および電流測定に最適です。埋め込まれているデジタル信号処理機能は、AFMソリューションにおける機能性と生産性を向上させます。

XYおよびZ検出器の24ビット信号分解能
• XYにおいて0.0003nmの分解能(50μmXY)
• Zにおいて0.001 nmの解像度(15μmZ)

内蔵デジタル信号処理機能
• 3チャンネルの柔軟なデジタルロックイン
• バネ定数校正(サーマル方式)
• デジタルQ制御を含む

統合内蔵信号アクセスポート
• 専用のプログラミング可能な信号入力/出力ポート
• 7つの入力と3つの出力ポート

15 ㎛の範囲でスキャン可能な高速Zスキャナ
z-scanner

強力な圧電スタックによって駆動され、フレクチャー構造に基づいてガイドされるスタンダードタイプのZスキャナは、9 kHz(通常10.5 kHz)を超える高い共振周波数と、48 mm/秒を超えるZサーボ速度を備え、正確なフィードバックを可能にします。また、オプションのロングスキャンレンジZスキャナを用いることで、最大Zスキャン範囲を15 ㎛から30 ㎛まで拡張できます。

電動XYステージ(エンコーダーオプション)
encoders

すべての電動ステージで使用されるエンコーダーは、正確な位置決めにあたる高い再現性を可能にします。エンコードされたXYステージは、1 ㎛の分解能で2 ㎛の再現性にて移動し、エンコードされたZステージは、0.1 ㎛の分解能を1 ㎛の再現性で移動します。

扱いやすいサンプルホルダー
Sample-holder

ユニークなヘッド設計により、サンプルとチップの横からのアクセスが可能です、ステージに配置できる最大サンプルサイズは、XYサンプルステージで選択した移動範囲オプションに応じて、直径150 mm x 20 mm、または直径200 mm x 20 mmです。

LED照明搭載型直上観察のハイパワー光学系
optics

超長作動距離(51 mm、0.21 NA、1.0 ㎛ 解像度)を誇るカスタム設計の対物レンズは、これまでにない鮮明度で方向性の正確な直上光学観察を実現させます。真上からの広範囲観察によって、ユーザーはサンプル表面を簡単にナビゲートしてターゲット領域を見つけることができます。また、より高い倍率を必要とする場合は、20mmの作動距離、0.42 NA、および0.7 ㎛の解像度を持つロングトラベルヘッドのEL20x対物レンズを選択することも可能です。CCDのセンサーサイズは、光学系の解像度を損なうことなく、サンプルを広範囲で確認できます。ソフトウェア制御のLED光源を用いてサンプル表面に十分な照明をあてることで、クリアな観察ができます。

垂直電動式Zステージ・フォーカスステージ
focus-stage

電動Zステージと電動フォーカスステージは、両方とも常に明確な視界を維持し、カンチレバーをサンプル表面に固定することを可能にします。また、フォーカスステージは、電動でありながらソフトウェアで制御されるため、透明なサンプルや液体セル活用に必要な正確さを備えています。

NX20-技術情報