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強力で多機能な原子間力顕微鏡で生産性を向上

Park XE15には、様々なサンプルを処理する共用研究室、複数変異実験を行う研究者、およびウェーハに取り組む故障解析エンジニアにとって理想的な多くの独自の機能が搭載されています。その合理的な価格と多様な機能により、業界で最も価値の高い大型サンプル用AFMとして評価されています。

 

独自のMultiSample™スキャンにより研究における生産性向上

一度の走査で複数のサンプル観察と計測が可能なため、作業効率を高めることができます。サンプルをステージにセットし、スキャンプロセスを開始するだけです。この装置は、同じ環境条件下でサンプルをスキャンすることができるため、信頼できる精度の高いデータを得ることもできます。

大型サンプルに対応していることから可能性拡大

ほとんどの市販AFMとは異なり、Park XE15は最大150 mm x 150 mmまでのサンプルに対応しています。より大きなサンプルをスキャンしたい研究者やシリコンウェーハをセットする必要のある故障解析エンジニアにとって最適な仕様となっています。

どのようなニーズにも対応した仕様

Park XE15は、ほとんどのスキャンモードを搭載しており、また大きなサンプルサイズにも対応しています。これにより、様々な測定ニーズが要求される共同研究室に最適な一台です。

XE15-概要