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  • Park AFM
    ナノメカニカルモード
    メカニカルスキャンモードを用いることで、サンプルの機械的特性を簡単に測定できます。
    各機能がParkのトレードマークである正確さを備えているため、信頼できるデータを収集可能です。

Park AFM ナノメカニカルモード

ピンポイント™ナノメカニカルモード

pinpoint-nanomechanical-mode

ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、ナノメカニカル特性の最高の解像度と精度を実現します。剛度、弾性率、粘着力をリアルタイムで同時に取得できます。XYスキャナが停止している間、接触力、先端と試料間の接触時間を明確に制御することで高速度フォースカーブが得られます。データを取得する時間を制御できることから、ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、様々な試料の表面において高いS/N比で最適化されたナノメカニカル測定を行うことができます。

Video: Characterizing Multicomponent Polymer with PinPoint™ AFM

 

PS-b-PEO-height

[高さ]

PS-b-PEO-adhesion-force

[粘着力]

PS-b-PEO-modulus

[モジュラス]

PS-b-PEO-stiffness

[剛度]

PS-b-PEO(ポリスチレンb-ポリエチレンオキシド)
スキャンサイズ :  10 µm

フォースディスタンススペクトロスコピー

チップと試料における相互作用力の測定

fd-mode

フォースディスタンス(F-d)カーブは、Zスキャナを伸縮させながらチップと試料表面の間における垂直方向の相互作用を測定する技術です。カンチレバーのゆがみの働きに対する圧電スキャナの拡張は、表面の機械的特性を反映するチップとサンプルの相互作用力を直接測定します。

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force-vs-distance

力対距離曲線から測定できる様々な弾性特性

ガラス上のポリマー
スキャンサイズ :  10µm
使用プローブ : NSC26CNSC36C
Park XEシリーズ F-Dスペクトロスコピーモードにてイメージング

フォースボリュームイメージング

チップとサンプルの相互作用力測定

フォースボリュームイメージングでは、剛度、カンチレバースナップイン、粘着性などのパラメータをプロットすることにより、サンプルの材料特性における詳細なマップを得ることができます。フォースディスタンススペクトロスコピーカーブから抽出されたパラメータは、ユーザーが試料のプロパティに関する洞察をすばやく、かつ簡単に取得できるよう、マトリックスにセットされます。

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Polymer-on-glass

ガラス上のポリマー
スキャンサイズ :  10 µm
使用プローブ : NSC36C
Park XEシリーズ フォースディスタンススペクトロスコピーモードにてイメージング

フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)

fmm-mode

サンプルの弾力の振幅と位相のイメージング

弊社のFMMモードは、サンプルの表面全体の機械的特性の変化を測定します。サンプル表面に接触している間にAC変調がカンチレバーに反映されるため、振幅と位相の変化をモニタリングし、定性的な弾性応答と粘性応答の洞察を得ることができます。

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crystal-facetts

[トポグラフィー]/[FMM位相]

クリスタルファセット
スキャンサイズ :  10 µm
使用プローブ : NSC36C
Park XEシリーズ FMMモードにてイメージング

摩擦力顕微鏡(LFM)

lfm-mode

摩擦力マッピング

Pパーク・システムズのAFMは、カンチレバーの垂直方向の歪みを検出できるだけでなく、横方向にも検出でき、摩擦力顕微鏡でのイメージングを可能にします。

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lfm-polymer

[トポグラフィー] / [LFMイメージ(左から右)] / [LFMイメージ(右から左)]

シリコン上のポリマー
スキャンサイズ :  2 µm
使用プローブ : NSC36C
Park XEシリーズ LFMモードにてイメージング

ナノリソグラフィ

nanolithography-mode

クローズドループスキャンシステムを使用した高度なベクターナノリソグラフィ

ナノリソグラフィモードでは、電圧を加えてサンプル表面を操作し、パターンを作成できます。独自のベクター図面またはラスター(ビットマップ)イメージをインポートすることで、リソグラフィの先端位置を簡単に制御できます。

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nanolithograpy-f1

チップ(a)で表面と衝突し、バイアス(b)を適用して表面を酸化させることにより、パターンが表面上に作成されます。

nanolithograpy-f2

ベクトルナノリソグラフィ。このイメージは、-5~-10Vの負の電圧を印加することによりベクトルにて出力されます。スキャン速度は1~0.1 μm/sの間で変化し、堆積した酸化物の高さは約2~4nmです。

Si
スキャンサイズ :  4.5 µm
使用プローブ : Contsc Pt
Park AFM スマートリソモードにてイメージング

ナノインデンテーション

nanoindentation-mode"

弊社のナノインデンテーションモードでは、カンチレバーに過度の力を加えることでサンプルをインデントし、硬度や弾性などの機械的特性を測定します。

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NanoIndentation-f1

ナノインデンテーションは、圧子の先端をサンプルに押し込むことにより、局所領域の硬度を測定します。

nanoindentation-sioch
SiOCH
スキャンサイズ :  5 µm
使用プローブ : Diamond indentor probe
Park XEシリーズ ナノインデンテーションモードにてイメージング

バネ定数校正

適切なバネキャリブレーションを維持することは、AFMフォースデータの精度にとって重要です。パーク・システムズは、熱測定法を採用することでバネキャリブレーションを再現し、毎回正確な測定値を提供します。

 



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Nanomechanical Modes