Park NX10 仕様
Z スキャナ
AFMヘッド:フレクチャーガイド式高力スキャナ
スキャン範囲：15 ㎛ (オプションにて30 ㎛)
SICMヘッド:多重積層圧電スタックによって駆動されるフレクチャーガイド式構造
Zスキャン範囲：15 ㎛ (オプションにて30 ㎛）
XY スキャナ
クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ
スキャン範囲：50 ㎛ x 50 ㎛ (オプションにて10 ㎛ x 10 ㎛、もしくは100 ㎛ x 100 ㎛)
ステージ
サンプルサイズ :最大100 ㎛ x 100 ㎛、20 mm (厚さ)
XYステージ移動距離：20 mm x 20 mm
Zステージ移動距離：15 mm
光学系
試料表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野：480 ㎛ x 360 ㎛ (10x対物レンズ使用の場合)
CCDピクセル：1.2Mピクセル (デフォルト)、5Mピクセル (オプション；視野：840 ㎛ x 630 ㎛)
対物レンズ
10x 超ロングワーキングディスタンスレンズ
20x 高分解能、ロングワーキングディスタンスレンズ
ソフトウェア
SmartScan™
AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
すばやいセットアップと簡単なイメージングのための自動モード
よりエキスパートな用途と詳細なスキャン制御のためのマニュアルモード
XEI
AFMデータ解析ソフトウェア
スタンドアローン式―AFMから離れたところでもインストール、および分析が可能
取得したデータの3Dレンダリング出力可能
エレクトロニクス
信号処理
ADC : 18 チャンネル
24ビット ADC( X, Y, 及び Z スキャナポシションセンサー用)
DAC : 17 チャンネル
2 高速DAC チャンネル (64 MSPS)
20ビット DAC( X, Y,及び and Z スキャナ位置制御用)
内蔵機能
デジタルロックインアンプ4チャンネル
バネ定数キャリブレーション (サーマル方式)
デジタルQコントロール
オプション/モード
トポグラフィーイメージング
真のノンコンタクト™モード
コンタクトモード
タッピングモード
電気特性
コンダクティブAFM (C-AFM)
I/V スペクトロスコピー
ケルビンプローブ顕微鏡 (KPFM)
高電圧KPFM
走査型拡がり抵抗顕微鏡 (SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡 (STM)
フォトカレントマッピング (PCM)
カレントディスタンス (I/d) スペクトロスコピー (SICM付き)
静電気力顕微鏡 (EFM)
化学特性
化学力顕微鏡 (機能化チップ付)
EC-AFM
誘導特性/圧電特性
圧電応答力顕微鏡 (PFM)
高圧電PFM
圧電応答分光法
機械特性
ピンポイント™ナノメカニカルモード
フォースモジュレーション顕微鏡 (FMM)
ナノインデンテーション
ナノリソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニピュレーション
摩擦力顕微鏡 (LFM)
フォースディスタンス(F/d)スペクトロスコピー
フォースボリュームイメージング
磁気特性
磁気力顕微鏡 (MFM)
熱特性
走査型サーマル顕微鏡法 (SThM)
寸法( mm)
