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  • Park
    NX10
    AFM 仕様

Park NX10 仕様

Z スキャナ

AFMヘッド:フレクチャーガイド式高力スキャナ
スキャン範囲:15 ㎛ (オプションにて30 ㎛)
SICMヘッド:多重積層圧電スタックによって駆動されるフレクチャーガイド式構造
Zスキャン範囲:15 ㎛ (オプションにて30 ㎛)

 

XY スキャナ

クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ
スキャン範囲:50 ㎛ x 50 ㎛ (オプションにて10 ㎛ x 10 ㎛、もしくは100 ㎛ x 100 ㎛)

 

ステージ

サンプルサイズ :最大100 ㎛ x 100 ㎛、20 mm (厚さ)
XYステージ移動距離:20 mm x 20 mm
Zステージ移動距離:15 mm

 

光学系

試料表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野:480 ㎛ x 360 ㎛ (10x対物レンズ使用の場合)
CCDピクセル:1.2Mピクセル (デフォルト)、5Mピクセル (オプション;視野:840 ㎛ x 630 ㎛)
対物レンズ
10x 超ロングワーキングディスタンスレンズ
20x 高分解能、ロングワーキングディスタンスレンズ

 

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
すばやいセットアップと簡単なイメージングのための自動モード
よりエキスパートな用途と詳細なスキャン制御のためのマニュアルモード

 

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア
スタンドアローン式―AFMから離れたところでもインストール、および分析が可能
取得したデータの3Dレンダリング出力可能

 

エレクトロニクス

信号処理

ADC : 18 チャンネル
24ビット ADC( X, Y, 及び Z スキャナポシションセンサー用)
DAC : 17 チャンネル
2 高速DAC チャンネル (64 MSPS)
20ビット DAC( X, Y,及び and Z スキャナ位置制御用)

内蔵機能

デジタルロックインアンプ4チャンネル
バネ定数キャリブレーション (サーマル方式)
デジタルQコントロール

 

オプション/モード

トポグラフィーイメージング

真のノンコンタクト™モード
コンタクトモード
タッピングモード

電気特性

コンダクティブAFM (C-AFM)
I/V スペクトロスコピー
ケルビンプローブ顕微鏡 (KPFM)
高電圧KPFM
走査型拡がり抵抗顕微鏡 (SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡 (STM)
フォトカレントマッピング (PCM)
カレントディスタンス (I/d) スペクトロスコピー (SICM付き)
静電気力顕微鏡 (EFM)

化学特性

化学力顕微鏡 (機能化チップ付)
EC-AFM

誘導特性/圧電特性

圧電応答力顕微鏡 (PFM)
高圧電PFM
圧電応答分光法

機械特性

ピンポイント™ナノメカニカルモード
フォースモジュレーション顕微鏡 (FMM)
ナノインデンテーション
ナノリソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニピュレーション
摩擦力顕微鏡 (LFM)
フォースディスタンス(F/d)スペクトロスコピー
フォースボリュームイメージング

磁気特性

磁気力顕微鏡 (MFM)

熱特性

走査型サーマル顕微鏡法 (SThM)

 

寸法( mm)

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NX10-Specifications