仕様
スキャナ
XYスキャナ範囲: 100 μm × 100 μm
AFMヘッド Zスキャナ範囲: 15 μm, 30 μm（オプション）
SICMヘッド Zスキャナ範囲: 15 μm, 30 μm（オプション）
エレクトロニクス
ADC: 18チャンネル
24ビットADC（X、Y、及びZ ポジションセンサー用）
DAC: 17チャンネル
20ビット DAC（X、Y、Z ポジションセンサー用）
3チャンネル内蔵ロックインアンプ
バネ定数キャリブレーション（サーマル振動方式）
デジタルQコントロール
AFM/SPMモード
ベーシックモード:真のノンコンタクト™ モード、タッピング モード、位相イメージング、コンタクトモード、LFM、 PinPoint™ イメージング、F/D スペクトロスコピー、フォース ボリュームイメージング、MFM、 エンハンストEFM (基本EFM、DC-EFM、PFM 及びSKPM)、FMM、ナノインデンテーション
NXオプションモード: CP-AFMオプション (基本CP-AFM、ULCA、VECA、SSRM)､高圧電源オプション、 SCM、SThM、STM
光学系（AFM）
試料表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野: 840 × 630 μm (10×対物レンズ使用の場合)
CCD: 5 Mピクセル、 1 Mピクセル(オプション)
対物レンズ
10x (N.a. 0.21) 超長WDレンズ
20x (N.A. 0.42) 高分解能、長WDレンズ
ソフトウエア - Park SmartScan™
AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
すばやいセットアップと簡単なイメージングのための自動モード
よりエキスパートな用途と詳細なスキャン制御のためのマニュアルモード
XEI
AFMデータ解析ソフトウェア
スタンドアロン式―AFMから離れたところでもインストール、および分析が可能
取得したデータの3Dレンダリング出力可能
倒立型光学顕微鏡
対物レンズ: 最大100x
蛍光顕微鏡* (オプション)
共焦点顕微鏡* (オプション)
グローブボックス（オプション）
• 湿度の精密制御が可能
• 特定ガス環境
• 活性材料の環境隔離
寸法（mm）
