毎月お届けしておりますパーク・システムズNano academy、今回は 電気測定について特集します。電気測定は各AFMメーカー毎に少しずつ手法が異なります。 今回は電気力測定EFMと表面電位測定KPFMについてご紹介させていただきます。特に新しい手法である、サイドバンド・ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）は、従来のリフトモードや他のKPFMメソッドに比べ、高い分解能と感度の向上でトポグラフィーと表面電位の同時イメージングを実現します。この手法では、カンチレバーの共振でトポグラフィーが検出され、カンチレバーの共振周波数から数kHz離れた測波帯の周波数でKPFM信号が検出されます。これにより、両方の信号を同時に測定できるため、取得時間を大幅に短縮しながら、表面電位イメージングの感度を向上させることができます。 このウェビナーでは、パーク・システムズ独自の真のノンコンタクト™モードとの組み合わせだからこそできる新しい電気測定技術をご紹介いたします。
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