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    NX20 300 mm
    原子間力顕微鏡
    ウェーハ測定及び分析のための
    自動化ナノ測定装置

Park NX20 300mm

ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置

Park NX20 300 mmは、300 mm X 300 mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡(AFM)です。 新しくアップグレードされたPark NX20のシステムは、故障解析や品質管理における研究のために設計され、 手間のかかるサンプルの交換作業もなしに300 mmのウェーハ全体をより効率的に検査できます。Parkの革新的な防振技術は、 実際の騒音水準を0.5 Å、もしくは0.3 Å RMS未満で維持させます。検証されたAFMの性能とワンクリック自動測定機能により、 サンプル毎のパラメータ調整の必要性をなくしたことで、操作工程においてより効率的でユーザーに優しい仕組みになっております。

弊社独自のSmartScan計測インターフェイスにより、300 mm X 300 mmの領域全面において、 安定的で再現性の高い連続自動多点計測を簡単に実現できます。大型試料を扱うFA, QA及びQCエンジニアにとって、Park NX20 300 mmは最適の装置です。

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大型ウェーハ研究のために特別製作

NX20 300 mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300 mmウェーハの領域全体を分析することができます。 これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。

 

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フレキシブル300mm サンプルチャック

Park NX20 300 mmの真空チャックは、ユーザーが実際に精密なスキャンを行えるようウェーハのサイズ、形や種類を幅広くサポートします。

 

300 mm XYステージ

電動300 mmXYステージにより、ユーザーはAFMでの測定位置を300 mmエリア全体で自由に動かすことができます。

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300 mm サンプルステージを搭載した確かな性能を持つNX20

NX20は正確性に妥協せず、 唯一無二の高い操作性と自動化機能が搭載されているため、 FA、QA及びQCエンジニアにとってベストなチョイスです。300 mm自動XYステージをサポートする強化されたプラットフォームを持ったNX20 300 mmは、 ユーザーが大型試料を非常に正確で簡単に研究できるよう、さらなる進化を遂げています。

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Park SmartScan™により正確な測定を簡単に

Park NX20には、SmartScan™オペレーティングソフトウエアが搭載されているため、市場において最も操作が簡単なAFMのひとつとなりました。 直観的でありながらも、非常に強力なインターフェイスにより、教育を受けていないユーザーでも、指導なしに大型サンプルをすばやくスキャンが可能です。 これにより、専任研究員はより大きい問題を解決し、より優れたソリューションを開発することに集中できます。

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a300mmウェーハ全面を多方面から計測

SmartScan™のモードにより、自動多点計測が可能となり、グリッドやウェーハベースモードを用いることで、各サイト間やサンプル間の表面形状、高さ、 表面の粗さを比較することができます。これにより、大型サンプルを計測する際の利便性及び生産性を大きく向上させることができます。

b強力なジョブ製作

弊社の簡単なジョブ製作プロセスを通し、定義された各バッチの位置、名称、ナンバーやタイプを事前に設定ができます。

 

幅広い応用分野に対する最適化

NX20 300 mmには、進化した測定及び分析機能をナノスケールで実現できる自動AFM測定法が搭載されており、 熱特性やナノ機械特性イメージング機能、欠陥レビュー、電気及び磁気故障解析も兼ね備えています。 粗さ、高さ及び深さの測定ができるAFMは、幅広い大型サンプルを扱う作業に理想的な装置です。

 

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仕様

スキャナ

XYスキャナ: 100 μm × 100 μm
Zスキャナ:15 ㎛ (30 ㎛ オプション)*

ステージ

XY移動距離: 300 mm x 300 mm
Z移動距離: 25 mm
フォーカスステージ移動距離: 8 mm
全軸精密エンコーダー* (オプション)

エレクトロニクス

ADC:18 チャンネル
高速ADC 4チャンネル(50 MSPS)
24ビット ADC ( X, Y, 及びZ位置センサー用)

DAC:17 チャンネル
高速DAC 2チャンネル(50 MSPS)
20ビット DAC (X, Y,及びZ 位置制御用)
内蔵ロックインアンプ 3チャンネル

光学系

サンプル表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
10倍標準対物レンズ (20倍オプション)*
視野: 480 x 360 μm
CCD:最大5Mピクセル

サンプルマウント
&サイズ

真空グルーブホルダー:
100, 150, 200, 300 mm ウェーハ対応、小型サンプル磁気的固定ホルダー、厚さ20 mmまで

構造情報

寸法:
1220 mm (幅) × 1170 mm (奥行) × 1470 mm (高さ)

ソフトウェア
Park SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ収集ソフトウェア
自動モード、マニュアルモード
自動レシピによるバッチモード、自動多点測定AFM操作モード

オプション/モード*

幅広いアプリケーションに対応した多様なオプション

 

Park NX20 300 mm